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德國海德漢heidenhain高精度直線光柵尺工作原理

發(fā)布時間: 2025-02-24  點(diǎn)擊次數(shù): 147次

德國海德漢heidenhain高精度直線光柵尺基礎(chǔ)信息:

直線光柵尺測量直線軸位置無需任何中間機(jī)械連接件。因此,可避免許多潛在誤差源,例如反向間隙、螺距誤差或循環(huán)滾珠絲杠發(fā)熱。只要位置精度嚴(yán)格和加工速度高,那么直線光柵尺。

LIC 4100系列

絕對式直線光柵尺

高精度和大測量長度

支持不同的安裝方式

鋼尺帶、玻璃陶瓷或玻璃基體的光柵

可帶功能安全特性

高速運(yùn)動的直線軸

測量長度達(dá)28 m

超小測量步距版(<1 nm

可提供高真空版

可提供功能安全特性

支持不同的安裝方式

接口:EnDat、發(fā)那科、三菱、松下和安川

德國海德漢heidenhain高精度直線光柵尺功能安全特性

該系列的部分編碼器可提供功能安全特性和機(jī)械連接防松保護(hù)功能。集成到系統(tǒng)中后,該解決方案可提供SIL 2級的安全性,最大限度減少故障和支持機(jī)床的安全工作。

應(yīng)用的多樣性

該系列產(chǎn)品應(yīng)用廣泛。LIC系列直線光柵尺亮點(diǎn)多,設(shè)計(jì)堅(jiān)固,精度高,支持高速度和大測量長度。部分版本的光柵尺可在高安全性環(huán)境或高真空度應(yīng)用中使用。

高運(yùn)動速度

LIC系列直線光柵尺不僅精度高,而且支持高速運(yùn)動。測量步距僅1 nm和運(yùn)動速度可高達(dá)600 m/min。絕對式位置測量,并且抗污性能優(yōu)異,可靠性高。

大測量長度

可選該系列直線光柵尺的不同版本,測量長度可達(dá)28米。這些光柵尺擁有高動態(tài)性能、高可靠性并在測量長度的全長上保持一致的高精度。

對污染不敏感

這系列光柵尺采用大掃描區(qū)設(shè)計(jì),擁有優(yōu)異的抗污性能。測量基準(zhǔn)上的局部異物幾乎不影響信號質(zhì)量和測量可靠性。

海德漢heidenhain高精度直線光柵尺原理

光電式原理:通過光源發(fā)出光線,經(jīng)過聚光鏡后照射到標(biāo)尺光柵和指示光柵上。當(dāng)標(biāo)尺光柵與指示光柵相對移動時,會產(chǎn)生莫爾條紋,光敏元件將莫爾條紋的光強(qiáng)變化轉(zhuǎn)換為電信號,通過對電信號的處理和計(jì)數(shù),就能精確測量出直線位移量。

電磁感應(yīng)式原理:利用電磁感應(yīng)現(xiàn)象,當(dāng)標(biāo)尺光柵與感應(yīng)頭相對移動時,在感應(yīng)頭的線圈中產(chǎn)生感應(yīng)電動勢,其大小和相位與位移量相關(guān),經(jīng)過信號處理電路解算出位移信息。

電容式原理:由固定電極和可動電極組成,可動電極隨被測物體移動,固定電極和可動電極之間的電容值會隨著相對位移的變化而變化,通過測量電容值的變化來計(jì)算出直線位移。

海德漢heidenhain高精度直線光柵尺特點(diǎn)

高精度:能夠?qū)崿F(xiàn)微米級甚至納米級的測量精度,滿足各種高精度加工和測量需求。

高分辨率:可以精確地分辨出極小的位移變化,提供豐富的測量細(xì)節(jié)。

響應(yīng)速度快:能夠快速地跟蹤被測物體的移動,實(shí)時輸出測量數(shù)據(jù),適用于高速運(yùn)動的測量場合。

可靠性高:采用了先進(jìn)的制造工藝和優(yōu)質(zhì)的材料,具有良好的穩(wěn)定性和抗干擾能力,能夠在惡劣的工作環(huán)境下長期穩(wěn)定工作。

非接觸式測量:標(biāo)尺光柵和指示光柵之間沒有直接接觸,減少了磨損和摩擦,提高了使用壽命,同時也避免了因接觸而產(chǎn)生的測量誤差。

海德漢heidenhain高精度直線光柵尺應(yīng)用領(lǐng)域

機(jī)床加工領(lǐng)域:用于數(shù)控機(jī)床的位置反饋,精確控制工作臺、刀具等的移動位置,提高加工精度,保證零件的加工質(zhì)量。在磨床、銑床、車床等各類機(jī)床上都有廣泛應(yīng)用。

半導(dǎo)體制造領(lǐng)域:在光刻機(jī)、刻蝕機(jī)等半導(dǎo)體制造設(shè)備中,用于精確控制晶圓的定位和移動,確保芯片制造的高精度和一致性。

測量儀器領(lǐng)域:如三坐標(biāo)測量儀、工具顯微鏡等,用于精確測量物體的尺寸、形狀和位置,為質(zhì)量檢測和控制提供準(zhǔn)確的數(shù)據(jù)支持。

自動化生產(chǎn)線領(lǐng)域:用于自動化生產(chǎn)線中工件的定位和檢測,實(shí)現(xiàn)自動化生產(chǎn)過程的精確控制和質(zhì)量監(jiān)控,提高生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量。

德國海德漢heidenhain高精度直線光柵尺工作原理

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